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多成分濃度計(専用機用)


多成分濃度計(専用機用)FUD-1 M-52

FUD-1 M-52
製品の概要
メンテナンス性や高精度インライン計測などのFUD-1 Model-52のメリットはそのままに、半導体製造プロセス用として小型セル型発信器を特長としたモデルとなります。

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【カタログ】FUD-1 Model-52(502KB) お問い合わせ
 

構成図

FUD-1 Model-52 導電率計内蔵型
多成分専用機構成図


多成分濃度計の特長

リアルタイムに3成分中の2成分濃度計側が可能

  • アナログDC4~20mA(2系統)及びデジタルRS232Cを標準装備
  • 計測エラー出力・警報出力を標準装備
  • 自己診断機能・エラーメッセージ表示を標準装備
  • 小型・軽量セル型発信器はラインにダイレクト設置が可能
  • PFAを採用した接液部材質、小出力設計で薬液への影響が無い

メリット

  • 高精度での連続計測が可能
  • 定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー
  • 設置時の各種調整等が不要で設置も容易
  • リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易

用途

  • CMP工程におけるCMPスラリー及び酸化剤濃度管理など
  • 洗浄工程における洗浄液濃度管理など(HF+HNO3・HF+H2SiF6など)
  • エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など(TMAH+レジスト・TMAH+Siなど)



仕様

型式 FUD-1 Model-52
 変換器
測定パラメータ超音波伝播速度・温度・導電率
表示 LCD(濃度1・濃度2・温度・音速・導電率/各種パラメータ)
出力信号 アナログ DC4~20mA:2系統(濃度値に対し自由に設定可)
デジタル RS232C(濃度1・濃度2・音速・温度・導電率・エラーコード)
警報 上・上上・下・下下限 計測異常:2系統
電源 AC100V~240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
構造 パネルマウント型(DIN規格準拠)
環境温度  変換器 0~50℃
RH85%以下(結露ないこと)
機能 出力範囲設定機能、警報出力設定機能、濃度表示移動平均機能、濃度表示オフセット及びゲイン設定機能、自己診断機能、フェールセーフ機能、異常値キャンセル機能、温度時定数補正
オプション 温度出力(DC4~20mA)
RS485出力(RS232Cとの同時出力不可)
チャンネル(検量線) 最大7ch
適合発信器例 SA-20S29+導電率計、SA-20S27+導電率計


 型式 発信器
SA-20S29+導電率計
SA-20S27+導電率計
 振動素子 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
 測定素子 サーミスタサーミスタ
 測定液温度 0~100℃ 0~80℃
 構造 フローセル フローセル
 接液部材質 PFA/PFAコーティング PFA
 継ぎ手 3/4フィッティング(変更可) 3/4フィッティング(変更可)
 耐圧 0.3MPa 0.3MPa
 流量 5l/min(推奨)  5l/min(推奨)
 重量 2.5kg 2.5kg
 ケーブル 専用ケーブル6m 専用ケーブル6m
 環境温度 5~45℃  5~45℃

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