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単成分濃度計(高精度)


単成分濃度計(高精度)FUD-1 M-122

FUD-1 M-122
製品の概要
高精度・高安定計測など、お客様のニーズにお答えするFUD-1 Model-12の上位機種に位置付けされるモデルとなります。



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【カタログ】FUD-1 Model-122(521KB) お問い合わせ
 

構成図

FUD-1 Model-122
単成分高性能構成図


単成分濃度計の特長

Model-122は、測定濃度安定性を重視したコンセプトモデル
半導体製造工程などの高精度・高安定濃度計側が必要とされるシーンで効果を発揮。

メリット

  • 高精度での連続計測が可能
  • 定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー
  • 設置時の各種調整等が不要で設置も容易
  • リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易

用途

  • CMP工程におけるCMPスラリーまたは酸化剤濃度管理など
  • 希釈工程における各種薬液濃度管理など(H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HClなど)
  • 洗浄工程における洗浄液濃度管理など(HF・NH4OH・KOH・IPAなど)
  • エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など(HF・H2SO4など)



仕様

形式 FUD-1 Model-122
測定パラメータ超音波伝播速度・温度
表示 LCD(濃度・温度・音速/各種パラメータ)
出力信号 アナログ DC4~20mA (濃度値に対し任意設定可)
デジタル RS232C (濃度・温度・音速・エラーコード)
警報 上・上上・下・下下限 計測異常
電源 AC100V~240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
構造 パネルマウント型(DIN規格準拠)
機能 出力範囲設定機能、警報出力設定機能、濃度表示移動平均機能、濃度表示オフセット及びゲイン設定機能、自己診断機能、フェールセーフ機能、異常値キャンセル機能
オプション 温度出力 (DC4~20mA)
チャンネル 最大10Ch
ケーブル 6m
接液部材質 PFAコーティング
継手 呼び径1/2~1インチに各種対応可
測定環境 変換器
10~40℃
RH85%以下
 発信器 5~45℃
 測定液温度 0~50℃
 耐圧 0.3MPa
流量 5l/min以下

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