超音波応用機器 設計・製造・販売 富士工業株式会社
単成分濃度計(高精度)
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| FUD-1 Model-130
製品の概要 高精度・高安定計測など、お客様のニーズにお答えするFUD-1 Model-13の上位機種に位置付けされるモデルとなります。
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構成図
FUD-1 Model-130
単成分濃度計の特長Model-130は、測定濃度安定性を重視したコンセプトモデル
半導体製造工程などの高精度・高安定濃度計側が必要とされるシーンで効果を発揮。 |
| メリット- 高精度での連続計測が可能
- 定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー
- 設置時の各種調整等が不要で設置も容易
- リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易
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用途- CMP工程におけるCMPスラリーまたは酸化剤濃度管理など
- 希釈工程における各種薬液濃度管理など（H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HCｌなど）
- 洗浄工程における洗浄液濃度管理など（HF・NH4OH・KOH・IPAなど）
- エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など（HF・H2SO4など）
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仕様
| 形式 | FUD-1 Model-130
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| 測定パラメータ | 超音波伝播速度・温度 |
| 表示 | LCD（濃度・温度・音速/各種パラメータ） |
| 出力信号 | アナログ DC4～20ｍA （濃度値に対し任意設定可）
デジタル RS232C （濃度・温度・音速・エラーコード）
警報 上・下限 計測異常 |
| 電源 | AC100V～240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能) |
| 構造 | パネルマウント型（DIN規格準拠） |
| 機能 | 出力範囲設定機能、警報出力設定機能、濃度表示移動平均機能、濃度表示オフセット及びゲイン設定機能、自己診断機能、フェールセーフ機能、異常値キャンセル機能 |
| オプション | 温度出力 （DC4～20ｍA) |
| チャンネル | 最大10Ch |
| ケーブル | 6ｍ |
| 接液部材質 | PFAコーティング |
| 継手 | 呼び径1/2～1インチに各種対応可 |
| 測定環境 | 変換器
| 10～40℃
RH85％以下 |
| 発信器 | 5～45℃ |
| 測定液温度 | 0～50℃ |
| 耐圧 | 0.3MPa |
| 流量 | 5l/min以下 |
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