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単成分濃度計(専用機用)


単成分濃度計(専用機用)FUD-1 M-12

FUD-1 M-12/M-1006
製品の概要
メンテナンス性や高精度インライン計測などのFUD-1 Model-12のメリットはそのままに、半導体製造プロセス 用として小型セル型発信器を特長としたモデルとなります。

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【カタログ】FUD-1 Model-12/1006(670KB) お問い合わせ
 

構成図

FUD-1 Model-12※以下は構成の一例となります
単成分専用機構成図


単成分濃度計の特長

リアルタイム濃度測定が可能で、濃度管理システム構築も簡単

  • アナログDC4~20mA及びデジタルRS232Cを標準装備
  • 計測エラー出力・警報出力を標準装備
  • 自己診断機能・エラーメッセージ表示を標準装備
  • 小型・軽量セル型発信器はラインにダイレクト設置が可能
  • PFAを採用した接液部材質、小出力設計で薬液への影響が無い


メリット

  • 高精度での連続計測が可能
  • 定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー
  • 設置時の各種調整等が不要で設置も容易
  • リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易

用途

  • CMP工程におけるCMPスラリーまたは酸化剤濃度管理など
  • 希釈工程における各種薬液濃度管理など(H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HClなど)
  • 洗浄工程における洗浄液濃度管理など(HF・NH4OH・KOH・IPAなど)
  • エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など(HF・H2SO4など)



仕様

形式 FUD-1 Model-12/Model-1006
測定パラメータ超音波伝播速度・温度
表示 LCD(濃度・温度・音速/各種パラメータ)
出力信号 アナログ DC4~20mA(濃度値に対し自由に設定可)
デジタル RS232C(濃度・温度・音速・エラーコード)
警報 上・上上・下・下下限 計測異常
電源 AC100V~240V 50/60Hz (DC24Vも使用可能)
構造 パネルマウント型(DIN規格準拠)・盤内設置型(オプションにて防雨ケースに組み込み可)
環境温度 0~50℃ RH85%以下(結露ないこと)
0~100℃ 特別仕様 -10~160℃(100℃幅)
機能 出力範囲設定、警報出力設定、濃度表示移動平均、濃度表示オフセット及びゲイン設定機能、自己診断機能、フェールセーフ機能、異常値キャンセル
RS485出力(RS232Cとの同時出力不可)
オプション 温度出力(DC4~20mA)
チャンネル 最大10ch
適合発信器 Model-12:SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5
Model-1006:SA-20S27

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